合作导师

朱煜

院系/流动站/专业

机械工程系

拟从事的研究领域

高端光刻机双工件台超精密平面光栅位置系统和用于制造大尺寸全息平面光栅的扫描干涉光刻系统

高端光刻机的超精密双工件台系统

拟从事的研究内容或研究计划

1、开展超精密平面光栅读数头研制、高速高分辨率电子相位卡研制、平面光栅位置测量系统精度理论研究；                            2、开展光学自动对准/波前测量/周期测量/条纹锁定等分系统的研制、扫描干涉光刻系统精度理论研究。

1、研究超精密双工件台的控制算法、控制策略、实时控制系统，突破关键技术，为产品控制系统设计和测试设计提供支撑；                            2、综合应用过驱动/过测量、高阶动力学特性辨识/多入多出系统辨识、扰动建模和辨识方法等技术优化超精密双工件台的最终性能。

1、负责光刻机的超精密双工件台的系统动力学、流场-磁场-热场等多场耦合分析；                                                          2、开展高性能电磁驱动和超精密运动控制的研究，突破关键技术，为产品设计提供支持。

招聘要求

1、两年内获得或近期即将获得光学工程/精密机械/应用物理/自动化/电子/控制工程等相关领域的博士学位，年龄不超过35周岁；       

2、具有强烈的科学研究兴趣，良好的专业素质，以及较强的实验设计和动手能力；                                                  3、具备较强的语言表达和沟通能力，责任心强，工作踏实主动，团队合作精神佳；                                                  4、具有光机电一体化多学科背景者优先；                                      5、拥有超精密光学干涉测量专业知识和研发经历者优先。

1、两年内获得或近期即将获得自动化、机械电子、数学、物理学、计算机及控制工程等相关领域的博士学位，年龄不超过35周岁；                                                           2、了解嵌入式实时系统、控制系统软硬件实现的基本框架；具备控制算法实现和调试能力；有运动台/机器人/精密机械控制系统设计、建模、调试经验；                                                  3、具有强烈的科学研究兴趣，良好的专业素质，以及较强的实验设计和动手能力；                                                  4、具备较强的语言表达和沟通能力，责任心强，工作踏实主动，团队合作精神佳。                                    

1、两年内获得或近期即将获得机械工程/电气工程/力学相关领域的博士学位，年龄不超过35周岁；                                    2、具有强烈的科学研究兴趣，良好的专业素质，以及较强的实验设计和动手能力；                                                  3、具备较强的语言表达和沟通能力，责任心强，工作踏实主动，团队合作精神佳。                                                 

招聘人数

3人

5人

3人